空气分子污染 aiirborne molecular contamination

一一 · 发表于 2019-12-21 20:07:33

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本帖最后由一一于 2020-2-13 14:40 编辑

【含义】AMC

以气态或汽态存在于洁净室或相关受控环境中，可危害洁净室或相关受控环境中产品、工艺或设备的分子（化学的、非颗粒的）物质。

注 1: 本定义不包含生物大分子，将其归为粒子。

注 2：改写 GB/T 25915. 8--2010，定义 3. 1.2

【来源】洁净室及相关受控环境第6部分：词汇，GB/T 25915.6-2010/ISO14644-6:2007，条款2.12

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