高能电子衍射仪 high electron energy diffractometer; HEED

一一

来源：GB/T13966-2013分析仪器术语
定义：电子能量为5 keV-500 keV，电子束是单色的、近似平行的．直径为10-8m~10-5m．通过荧光屏或其他检测器探测前向散射电子形成的衍散图的电子衍射仪。主要用于研究薄膜、薄箔、小颗粒（厚度或直径为10-9m~10-6m) 的分子结构。

一般分三类 ：反射高能衍射仪(RHEED )，适用于确定较粗糙表面上层原子的横向排列；扫描高能衍射仪 (SHEED)，可以直接测量弹性散射的电子，适用于薄膜生成，退火和腐蚀过程研究；透射高能电子衍射仪（THEED）通常和透射显微镜联用研究薄膜的生长。