低能电子衍射仪 low electron energy diffractometer;LEED

一一

来源：GB/T13966-2013分析仪器术语
定义：电子能量小于500 eV．电子束是单色的、近似平行的，直径为10-4m~10-1m，通常垂直入射，利用集电极或半球形荧光屏来探测被弹性反向散射的电子形成的衍射图的电子衍射仪。

它必须在超高真空、试样表面非常清洁的条什下工作。主要用以研究单晶表面结构、与表面横向周期性变化相联系的表面过程。