电子能量损失谱仪 energy loss of electron spectrometer

一一

来源：GB/T13966-2013分析仪器术语
定义：测量试样非弹性散射电子能量的电子能谱仪。包括低能能量损失谱仪、透射能量损失谱仪、特征能量损失谱仪等。前者适用于测定表面吸附能力，半导体的表面态等，后者适用于元素分析和化学态分析。