已装过滤系统检漏 installed filter system leakage test

一一 · 发表于 2019-12-13 22:15:32

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本帖最后由一一于 2020-2-13 15:22 编辑

【含义】为确认过滤器安装良好，向设施内无旁路渗漏，过滤器及其安装框架均无缺陷和渗漏而进行的检测。

【来源】洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法，GB/T 25915.3-2010/ISO 14644-3:2005，条款3.3.7

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