卢瑟福背散射谱法 Rutherford back scattering spectroscopy; RBS

一一

来源：GB/T13966-2013分析仪器术语
定义：以兆电子伏特级的高能轻元素离子（如H+、He2+）通过针形电极（探针）以掠射方式入射试样，大部分离子由于试样原子核的库仑作用产生卢瑟福散射，改变了运动方向而形成背散射。测量背散射离子的能量、数量，分析试样所含的元素、含量和晶格的方法。