能谱法 spectroscopy

一一

来源：GB/T 13966-2013分析仪器术语
定义：用具有一定能量的粒子束轰击试样物质，根据试样物质被激发的粒子能植，或被试样物质反射的粒子能量和强度与入射粒子束强度的关系图（称为能谱）实现对试样的非破坏性元素分析、结构分析和表面物化特性分析的方法。它一般分为电子能谱法、离子散射谱法和二次离子谱法三类。